靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应 。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

靶材的种类：⒈ 金属靶材  ⒉ 陶瓷靶材  ⒊合金靶材

微电子领域：半导体产业对靶材的品质要求是最苛刻的，这就要求所制造的靶材具有更好的微观结构，靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉 积率的关键因素平面显示器用靶材：

现在的1TO靶材有两种，一种是采用纳米状态的氧化铟和氧化锡粉混合后烧结，一种是采用铟锡合金靶材。存储技术用靶材：在储存技术方面，高密度、大容量硬盘的发展，需要人鼍的巨磁阻薄膜材料，CoF ~Cu多层复合膜是现在应朋展广泛的巨磁阻薄膜结构。